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原始矽料生產工藝流(liú)程

作者: 來源(yuán): 日期:2024/6/3 11:57:44 人氣:180

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或懸(xuán)浮區熔法從熔體(tǐ)中生長出棒狀單晶矽。熔融的單質矽在凝固時矽原子以金(jīn)剛石晶(jīng)格排列成許多晶核,如果這(zhè)些晶核(hé)長成晶麵取向相同的晶粒,則這些晶粒平行結合起來便結晶成單晶矽。單晶矽棒(bàng)是生產單晶矽片的原材料,隨著國內和國際市場對單(dān)晶矽片需求量的快速增加,單(dān)晶矽棒的市場需求也(yě)呈快速(sù)增長的趨勢。 單晶矽圓片(piàn)按其直徑分為6英寸、8英(yīng)寸、12英(yīng)寸(300毫米)及18英寸(cùn)(450毫米)等。直徑越大的圓片,所能(néng)刻製的集成電路越多,芯片的成本(běn)也就越低。但大尺寸晶(jīng)片對材料和技術的要求也越高。單晶矽(guī)按晶體生長方(fāng)法的不同,分為直拉法(CZ)、區熔法(FZ)和外延法。直拉法、區熔法生長單晶矽棒材,外延法生長單晶矽薄膜。直拉法生長的單(dān)晶矽主要用(yòng)於半導(dǎo)體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽(yáng)能電池。目前晶體直徑可控(kòng)製在Φ3~8英寸。區熔法單晶主要用(yòng)於高壓大功率可控整流(liú)器件領域,廣泛(fàn)用於大功率輸變電、電力機車、整(zhěng)流、變頻、機電一體化、節(jiē)能燈、電視機(jī)等係列產品。目前(qián)晶(jīng)體直徑可(kě)控製在Φ3~6英寸。


單晶(jīng)矽通常指的是矽原子的一種排列形式形成的物質。
矽是最常見應用最廣的半導體材料,當熔融的單質矽(guī)凝固時,矽原子以金剛石晶格排列成晶核,其晶核長成晶麵取向相同的晶粒,形成單晶矽。
單晶矽作為一種比較活潑的非金屬元(yuán)素晶體,是(shì)晶體材料的重要組成部分(fèn),處於新材料發展的前沿。單(dān)晶矽材料製造要經過如下過程:石英砂-冶金級矽-提純和精煉-沉積多(duō)晶矽(guī)錠-單(dān)晶矽-矽片切割。其主要用途是用作半導體材料和利用太陽能光伏發電(diàn)、供熱等(děng)。

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