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擴散過(guò)程(chéng)中,在矽片的周邊表麵也形成了擴散層。周邊擴(kuò)散(sàn)層使電池的上下電極形 成(chéng)短路環,必須將它除去。
周邊上存(cún)在任何微小的局部短(duǎn)路都會(huì)使(shǐ)電池並聯電阻下降,以至成為廢品。目前,工(gōng)業(yè)化生產用等離子幹法腐
蝕,在輝光放電條件下通過氟和氧交(jiāo)替對矽作用,去除含有擴散層的周邊。 擴散(sàn)後清(qīng)洗的目的是去(qù)除擴散過程
中形成的(de)磷矽玻璃。
沉積減(jiǎn)反射層: 沉積減反射層的目的(de)在於減少表麵反射,增加折射率。廣泛使用PECVD澱積(jī)SiN ,由於PE
CVD澱積SiN時,不光是生長SiN作為減反射膜,同時生成(chéng)了大量的原子氫,這些氫原子能對多晶矽片具有表麵
鈍化和體(tǐ)鈍化的雙重作用,可用於大(dà)批量生產。
絲網印刷上下電極: 電極的製備是太陽電池製備過(guò)程中一個至關重要的步驟,它不僅(jǐn)決定(dìng)了發射區的結構
,而且也決定(dìng)了電池的串聯電阻和(hé)電池表麵被金屬覆蓋的麵積。最早采用真空蒸鍍或化(huà)學電鍍技術,而現(xiàn)在普
遍采(cǎi)用絲網印刷法,即通過特殊的印(yìn)刷機和模版將銀漿鋁漿(銀鋁漿)印刷在太陽電池的正背麵,以形成正負
電極引線(xiàn)。
共(gòng)燒形成金屬接觸: 晶體矽太陽電(diàn)池要通過三(sān)次印刷金(jīn)屬漿(jiāng)料,傳統工藝要用二次燒結才能形成良好的帶
有金屬電極歐姆接觸,共燒工藝隻需一次燒結,同時形成上下電極的歐姆(mǔ)接觸。在太陽電池絲網印刷電極製作
中,通(tōng)常采用鏈式燒結爐進行快速燒結(jié)。
電(diàn)池片測試: 完成(chéng)的電池片經過測試分檔進行歸類。